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ICP-MS全称是电感耦合等离子体质谱仪，主要用途是进行化学元素分析检测，特别是对金属元素分析最擅长，也能分析B、P、As等非金属元素。他和ICP-OES、AAS是化学元素分析的常用的三种仪器，ICPMS的检测限最低，可以达到PPT（10的负12次方）级。
ICP-MS所用 电离源是感应耦合 等离子体（ICP），它与 原子发射光谱仪所用的ICP 是一样的，其主体是一个由三层石英套管组成的炬管，炬管上端绕有负载线圈，三层管从里到外分别通载气，辅助气和冷却气，负载线圈由高频电源耦合供电，产生垂直于线圈平面的磁场。如果通过高频装置使氩气电离，则氩离子和电子在 电磁场作用下又会与其它氩原子碰撞产生更多的离子和电子，形成 涡流。强大的电流产生高温，瞬间使 氩气形成温度可达10000k的等离子焰炬。样品由 载气带入等离子体焰炬会发生蒸发、分解、激发和 电离，辅助气用来维持等离子体，需要量大约为1 L每min。冷却气以切线方向引入外管，产生螺旋形气流，使负载线圈处外管的内壁得到冷却，冷却气流量为10-15 L每min。
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